Lugar de origem
Henan, China
Classificação
Laboratório de equipamento de aquecimento
Número do Modelo
TN-PE-HPCVD
Tubo de quartzo de alta pureza
50mm de DIÂMETRO.
Temperatura de operação
0 ~ 1100 ℃
Sistema de saída de RF
0 ~ 500W ajustável, 13.56MHz + 0.005%
Barco de evaporação
Cesta de fio de tungstênio, opcional cônicos cadinho de alumina
Corrente de trabalho
≤ 30A
Channel Four-medidor de fluxo de massa
MFC1: 0 ~ 200sccm MFC2 : 0 ~ 200sccm MFC3: 0 ~ 500sccm MFC4 : 0 ~ 500sccm
Controle de fluxo
Tela de toque LCD de controle, display digital
Sistema de vácuo
Bomba Molecular: 600L/S bomba de palhetas: 1.1L/S
Medição de vácuo
Vacuômetro composto