Lugar de origem
Shandong, China
Requisitos
Limpo, seco e não corrosivo
Tipo de gás
Ar, n2, o2, co2, ele, h2, ch4, ar, etc.
Range1 completo
(0 ~ 20, 50, 100, 200, 500) sccm
Range2 completo
(0 ~ 1, 5, 10, 50, 100, 200, 500, 800,1000,1200) slm
Precisão1
0-20sccm... 50slm,1% fs
Precisão2
0-100/200slm,1.5% fs
Precisão3
0-50/800/1000/1200slm, 2% fs