Suporte personalizado
OEM, ODM
Material
Aço inoxidável/silício/nitreto de silício, etc
Precisão
0.3% f. s. (≤ 30% f. s.) / 1.0% s. p. (>0.3% f. s.)
Requisitos de gás
Gás limpo, seco e não corrosivo
Gás
Ar, n2, ar, co2, ele, h2, ch4, o2 e assim por diante
Faixa de fluxo
(0 ~ 10, 100, 200, 300, 500) sccm (0 ~ 1, 2, 3, 5, 10,20) slm
Integridade de vazamento, popa
1x10-9 pa m3/s ele
Temperatura operacional
0 ~ 50 °C
Umidade operacional
10% ~ 90% rh (não congelado e condensação)
Fonte de alimentação
Dc24v, ondulação de onda ≤ 50mv