Elipsometria

Ellipsometry torna-se muito sensível optical técnica, que ofereceinigualável capacidade de película fina de metrologia. Ellipsometry explora fase deinformação e de estado de polarização da luz e assim podemos alcançar angstrom nível de resolução. As principais vantagens do ellipsometry são a sua não- destrutivos de caráter, alta sensibilidade e ampla faixa de medição. Os parâmetros ópticos como espessura e os índices de refração de uma película fina pode ser determinada com precisão por esta técnica.

No elipsometria modelo não: ho-tce-01, um elliptically polarizada luz é feita deincidente sobre o teste de substrato e a reflexão de luz que é a polarização linear são analisados por mudanças de polarização.

Oinstrumento é composto por concêntrica dois braços girando em torno de uma precisão graduado disco fixado a uma base pesada. Uma fonte de laser são mantidas em um braço e o conjunto detector no outro braço. O disco graduado tem um grau de escala e 0.1 grau de resolução obtida através de um nônio. Fontes de alimentação para a fonte de laser detector e são colocados separadamente. Polarizador, analisador e bairro waveplate são mantidos em a precisão estágios rotativos no caminho óptico com graduações precisas ter 0-360 grau gama e 0.1 grau de resolução. Glan- thompson prismas são usados para tanto polarizador e analisador. A amostra é colocada sobre um micrômetro de precisão vertical orientado com estágio altura faixa de ajuste de 10 mm e resolução 0.01 mm. Incidente de ângulo para a fonte de laser pode ser ajustada entre 30 grau e 90 grau. Para o método nulo, o detector pode ser substituído com uma miniatura de tela visual para determinação do ponto nulo, se necessário.

Especificações:

Faixa de medição: 1 nm ~ 300 nm
Incidente de ângulo: 30& deg; ~ 90& deg;, erro& le; 0.1& deg;

faixa de rotação
Polarizador: 0& deg; ~ 360& deg;
Quarto- onda: 0& deg; ~ 360& deg;
Resolução: 0.1 grau
   

Laser: dpss
Faixa de rotação: 70 graus( do plano horizontal)
Principal divisão da escala: 1 grau
Resolução: 0.1 grau

detector
Tipo: si fotodiodo com 5.8 x 5.8mm a área ativa
   
detector de braço
Faixa de rotação: 70 graus( do plano horizontal)
Principal divisão da escala: 1 grau
Resolução: 0.1 grau

titular da amostra
Altura faixa de ajuste: 10mm
Unidade de resolução: 10 microns
Faixa deinclinação: +/- 2 grau

procedimento
Aleatoriamente polarizada luz laser( 532nm) passa através de um polarizador( glan- thompson prisma) que altera a polarização da luz de forma aleatória para polarização polarização linear. A luz polarizada linearmente passa então através de um quarto- placa onda( conjunto do eixo fácil em 45 graus) que muda o estado de polarização linear a partir de elíptica. Depois de uma reflexão a partir da amostra de película fina, o elliptically luz polarizada tornar-se polarizada linearmente e um analisador( glan- thompson prisma) mede o grau de polarização.

software
Holmarc desenvolveu um software exclusivo para ser usado junto com oinstrumento para a análise dos dados. O software que pode ser carregado em qualquer computador pessoal as parcelas& delta;& mos;& psi; gráfico e óptico constante pode ser determinada a partir da parcela. Ele pode ser usado para descobrir o simples e complexos os índices de refração