Elipsometria

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Lugar de origem:
Kerala, India
Marca:
Holmarc
Número do Modelo:
HO-TCE-01

Specifications

Ellipsometry is a very sensitive optical technique which provides unequaled capabilities for thin film metrology.

Ellipsometry é uma técnica muito óptico sensível que fornece recursos inigualável para película fina de metrologia. Ellipsometry explora fase informações e polarização estado de luz e assim pode alcançar Angstrom Resolução nível. As principais vantagens de caráter ellipsometry são a sua não-destrutivo, alta sensibilidade e ampla faixa de medição. Os parâmetros ópticos como espessura e índices de refracção de uma película fina pode ser determinado com precisão por esta técnica.

No ellipsometer Modelo No: HO-TCE-01, Um elíptica luz polarizada é feito para incidente sobre o teste substrato E a luz refletida que é polarizada linearmente é analisado para polarização Mudanças.

O aparelho é composto de dois concentrically rotação braços em torno de um precisamente disco graduado fixo a uma base pesada. Uma fonte de laser é realizada em um braço e o detector de montagem na outra. O disco graduado tem escala de 1 graus e 0,1 graus resolução alcançado através de um vernier. Fontes de alimentação para fonte de laser e detector são colocados separadamente. Polarizador, Analisador e quartos waveplate são realizadas em precisão Rotary estágios no Caminho óptico Com graduações preciso ter faixa de 0-360 graus e 0,1 graus Resolução. Glan-Thompson prismas são usados para ambos polarizador e analisador. Amostra é colocada sobre uma precisão micrômetro impulsionado vertical palco com faixa de ajuste de altura de 10mm E resolução de 0,01mm. Ângulo de incidência para Laser Fonte pode ser ajustado entre 30 graus e 90 Grau. Para nulo método, Detector pode ser substituído com uma tela em miniatura para determinação de ponto nulo visual, Se necessário.

Especificações:

Faixa de medição: 1 nm ~ 300 Nm
Incidente ângulo: 30 ° ~ 90 °, erro ≤ 0,1 °

Faixa de rotação
Polarizador: 0 ° ~ 360 °
Quarto de onda: 0 ° ~ 360 °
Resolução: 0,1 graus
   

Laser: DPSS
Faixa de rotação: 70 graus (de plano horizontal)
Divisão de escala principal: 1 graus
Resolução: 0,1 graus

Detector
Tipo: si fotodiodo com 5,8x5,8mm área ativa
   
Detector de braço
Faixa de rotação: 70 graus (de plano horizontal)
Divisão de escala principal: 1 graus
Resolução: 0,1 graus

Suporte de amostras
Faixa de ajuste de altura: 10mm
Drive resolução: 10 microns
Faixa de inclinação: +/-2 graus

 

 

Procedimento
Aleatoriamente polarizada Laser Luz (532nm) Passa através de um polarizador (Glan-Thompson prisma) Que muda a polarização da luz de polarização polarização linear aleatória. O polarizada linearmente luz passa então através de um quarto de onda placa (Definir o eixo rápido em 45 graus) Que altera o estado de Linear Polarização para elíptica. Após reflexão a partir da amostra de película fina, O elíptica luz polarizada tornar-se polarizada linearmente e um analisador (Glan-Thompson prisma) Mede o grau de polarização.

Software
Holmarc desenvolveu um software exclusivo para ser usado junto com o instrumento ideal para análise de dados. O software que pode ser carregado em qualquer computador pessoal traça o & Delta; -& Psi; Gráfico e óptica constante pode ser determinada a partir da trama. Ele pode ser usado para descobrir simples e complexo índices de refracção

Ellipsometry é uma técnica muito óptico sensível que fornece recursos inigualável para película fina de metrologia. Ellipsometry explora fase informações e polarização estado de luz e assim pode alcançar Angstrom Resolução nível. As principais vantagens de caráter ellipsometry são a sua não-destrutivo, alta sensibilidade e ampla faixa de medição. Os parâmetros ópticos como espessura e índices de refracção de uma película fina pode ser determinado com precisão por esta técnica.

No ellipsometer Modelo No: HO-TCE-01, Um elíptica luz polarizada é feito para incidente sobre o teste substrato E a luz refletida que é polarizada linearmente é analisado para polarização Mudanças.

O aparelho é composto de dois concentrically rotação braços em torno de um precisamente disco graduado fixo a uma base pesada. Uma fonte de laser é realizada em um braço e o detector de montagem na outra. O disco graduado tem escala de 1 graus e 0,1 graus resolução alcançado através de um vernier. Fontes de alimentação para fonte de laser e detector são colocados separadamente. Polarizador, Analisador e quartos waveplate são realizadas em precisão Rotary estágios no Caminho óptico Com graduações preciso ter faixa de 0-360 graus e 0,1 graus Resolução. Glan-Thompson prismas são usados para ambos polarizador e analisador. Amostra é colocada sobre uma precisão micrômetro impulsionado vertical palco com faixa de ajuste de altura de 10mm E resolução de 0,01mm. Ângulo de incidência para Laser Fonte pode ser ajustado entre 30 graus e 90 Grau. Para nulo método, Detector pode ser substituído com uma tela em miniatura para determinação de ponto nulo visual, Se necessário.

Faixa de medição: 1 nm ~ 300 Nm
Incidente ângulo: 30 ° ~ 90 °, erro ≤ 0,1 °

Faixa de rotação
Polarizador: 0 ° ~ 360 °
Quarto de onda: 0 ° ~ 360 °
Resolução: 0,1 graus
    

Laser: DPSS
Faixa de rotação: 70 graus (de plano horizontal)
Divisão de escala principal: 1 graus
Resolução: 0,1 graus

Detector
Tipo: si fotodiodo com 5,8x5,8mm área ativa
    

Detector de braço
Faixa de rotação: 70 graus (de plano horizontal)
Divisão de escala principal: 1 graus
Resolução: 0,1 graus

Suporte de amostras
Faixa de ajuste de altura: 10mm
Drive resolução: 10 microns
Faixa de inclinação: +/-2 graus

Procedimento
Aleatoriamente polarizada Laser Luz (532nm) Passa através de um polarizador (Glan-Thompson prisma) Que muda a polarização da luz de polarização polarização linear aleatória. O polarizada linearmente luz passa então através de um quarto de onda placa (Definir o eixo rápido em 45 graus) Que altera o estado de Linear Polarização para elíptica. Após reflexão a partir da amostra de película fina, O elíptica luz polarizada tornar-se polarizada linearmente e um analisador (Glan-Thompson prisma) Mede o grau de polarização.

Software
Holmarc desenvolveu um software exclusivo para ser usado junto com o instrumento ideal para análise de dados. O software que pode ser carregado em qualquer computador pessoal traça o & Delta; -& Psi; Gráfico e óptica constante pode ser determinada a partir da trama. Ele pode ser usado para descobrir simples e complexo índices de refracção

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