Tipo

ZHD450 A

ZHD450 B

ZHD450 C

Método do revestimento

Revestimento da evaporação da resistência

Revestimento da evaporação do feixe da resistência/elétron

Evaporação da resistência + sputtering do magnétron

Tipos da película

Películas orgânicas ou películas etc. do metal.

Películas Multi-layer, várias películas do filtro, películas da reflexão, películas da transmissão? etc.

Únicas películas da substância, películas do semicondutor, películas orgânicas, películas de óxido, películas da reação, películas dieléctricas, películas do semicondutor, dispositivos de OLED, etc.

Fonte de alimentação

Fonte de alimentação de Evapourate

Fonte de alimentação de Evapourate, fonte de alimentação do injetor de elétron

Fonte de alimentação de Evapourate, fonte de alimentação do pulso

Elétrodos e alvos

elétrodos

elétrodos, e-tipo injetor de elétron

elétrodos, alvo sputtering do magnétron da asa de æroplano circular

Controle do vácuo

Manual disponível/controle do PLC/PLC+HMI (opcional)

Dimensão da câmara de vácuo

Φ450×H500 milímetro

Câmara de vácuo

Pre-abra estruturas verticais, sistemas de bombeamento do Postposition, manuais empurrar-e-puxam a maneira

Bombas de vácuo

Bomba molecular/difusão + bomba mecânica

Velocidade de bombeamento

Bombeando time≤20 minuto (minuto) molecular da bomba/50 (bomba de difusão), da pressão atmosférica a 10-3Pa

Uniformidade da película

As flutuações da espessura de película são menos de 5%

Estrutura dos elétrodos

Elétrodos do Water-cooling

Temperatura de cozimento do workpiece

Ajustável e verificável da temperatura ambiente ao °C 300 (controle de temperatura do PID)

Movimento do workpiece

0-20 RPM ajustáveis e volta/rotação stepless verificáveis da mudança da velocidade

Medida do vácuo

Dois calibres de vácuo compostos digitais

Proteção

O alarme e a proteção automática funcionam para a prostração da água, fluxo anormal, sobre o fluxo atual, sobre a tensão, e parada programada elétrica, etc.

Parâmetros básicos

Quilowatt Power≥12; Área serida: 12 m2; Peso: ~1200 quilogramas

Dispositivos opcionais

Monitor da espessura de película do oscilador de quartzo, refrigerar de água & recicl a máquina