máquina do vácuo -------A série de TEMD de máquina de revestimento ótica do elétron-feixe é principalmente para o multi-revestimento, produzindo o filtro, película reflexiva, película da transmissão. De acordo com a necessidade de aumentar ou melhorar a distribuição de elementos selecionados tais como bombas de vácuo, bombas criogênicas; Alocamento da armadilha de baixa temperatura da câmara de vácuo; controle de espessura usando o controlador da espessura do cristal de quartzo; fontes íon-ajudadas do depósito, tais como o bombardeio do RF. Materiais básicos irrestritos da evaporação do feixe de elétron: evaporação, e escala de ajuste da taxa da evaporação do feixe de elétron da densidade do poder superior: uso do derretimento do cadinho da evaporação da água ou materiais parciais da evaporação, materiais de empacotamento para evitar os materiais da evaporação e do depósito e o material de empacotamento, a reação entre películas de uma pureza elevada. Aplique aos institutos da investigação científica e às empresas da produção ótica da película fina.
Datilografe | TEMD-550 | TEMD-650 | TEMD-800 | |
Dimensão da câmara de vácuo | Φ550×H600 milímetro | Φ650×H700 milímetro | Φ800×H800 milímetro | |
O vácuo alcançado o mais elevado | Pa 6×10-5 | |||
Velocidade de bombeamento | Minuto time≤20 de bombeamento, da pressão atmosférica a 2×10-3Pa | |||
Fonte da evaporação | Poder do injetor de elétron | 6 QUILOWATTS | ||
Volume do cadinho | furo 20 ml×4 | |||
Poder da evaporação da resistência | 2.5 QUILOWATTS | |||
Elétrodos refrigerar de água | Dois pares (evapore alternativamente) | |||
Temperatura de cozimento | °C 300 (dispositivos de aquecimento tubulares) | |||
Composição do sistema do vácuo | Sistema de bomba molecular de 1600 L/S | Sistema de bomba molecular de 1600 L/S | Sistema de bomba da difusão K-600 | |
Medida da espessura de película | Monitor da espessura de película do oscilador de quartzo | |||
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