| Marca: TECHNOL |
Máquina do vácuo-----A série dos transmissores do vácuo ultrahigh de JGMR é aplicada principalmente ao ensino e as empresas dos institutos de investigação, da pesquisa, as pequenas e as médias do vário chapeamento filmam o processamento da produção
Denominação | Série dos transmissores do vácuo ultrahigh de JGMR |
Câmara de vácuo elevado | Φ200mm×L300mm |
Câmara de vácuo Ultrahigh | Φ200mm×L450mm |
Estrutura do elétrodo | Cátodo, o jogo do ânodo |
pólo magnético da transmissão | Φ25mm×L1100mm |
Pressão baixa (câmara de vácuo elevado.) | 8×10-5Pa |
Pressão baixa (câmara de vácuo final.) | 8×10-8Pa |
Estrutura da câmara de vácuo | Bomba molecular + bomba condensada + bombas mecânicas |
Velocidade de bombeamento | inferior ou igual a 20min do ar a 10-3Pa |
Controle do vácuo | Controle manual de /Automatic |
controle de gás | 3 jogos do sistema de controlo do gás, ± 0.1sccm da exatidão do controle de fluxo 5L/3L/2L do gás. |
proteção | O equipamento está sendo conduzido, sob a consolidação, fluxo, dispositivos de proteção da sobretensão |
Parâmetros técnicos básicos | power≥20KW, area6m2 |
Dispositivos da opção | A fonte de íon de Salão dos dispositivos da espessura do oscilador de quartzo, e as máquinas da água de circulação bombeiam, PLC, controle do PC, a anti-lavagem de sputtering |
China
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