| Número modelo: ZHD-450 |
Máquina de revestimento do vácuo-----Função principal do depósito de vapor das máquinas de revestimento da evaporação da resistência ZHD-450, laboratório da único-preparação e qualidade do dielétrico do óxido da qualidade da produção industrial. compostos do semicondutor, o método o mais comum de películas superconducting de alta temperatura.
Tipo | ZHD450 A | ZHD450 B | ZHD450 C |
Método do revestimento | Revestimento da evaporação da resistência | Revestimento da evaporação do feixe da resistência/elétron | Evaporação da resistência + sputtering do magnétron |
Tipos da película | Películas orgânicas ou películas etc. do metal. | Películas Multi-layer, várias películas do filtro, películas da reflexão, películas da transmissão? etc. | Únicas películas da substância, películas do semicondutor, películas orgânicas, películas de óxido, películas da reação, películas dieléctricas, películas do semicondutor, dispositivos de OLED, etc. |
Fonte de alimentação | Fonte de alimentação de Evapourate | Fonte de alimentação de Evapourate, fonte de alimentação do injetor de elétron | Fonte de alimentação de Evapourate, fonte de alimentação do pulso |
Elétrodos e alvos | elétrodos | elétrodos, e-tipo injetor de elétron | elétrodos, alvo sputtering do magnétron da asa de æroplano circular |
Controle do vácuo | Manual disponível/controle do PLC/PLC+HMI (opcional) | ||
Dimensão da câmara de vácuo | Φ450×H500 milímetro | ||
Câmara de vácuo | Pre-abra estruturas verticais, sistemas de bombeamento do Postposition, manuais empurrar-e-puxam a maneira | ||
Bombas de vácuo | Bomba molecular/difusão + bomba mecânica | ||
Velocidade de bombeamento | Bombeando time≤20 minuto (minuto) molecular da bomba/50 (bomba de difusão), da pressão atmosférica a 10-3Pa | ||
Uniformidade da película | As flutuações da espessura de película são menos de 5% | ||
Estrutura dos elétrodos | Elétrodos do Water-cooling | ||
Temperatura de cozimento do workpiece | Ajustável e verificável da temperatura ambiente ao °C 300 (controle de temperatura do PID) | ||
Movimento do workpiece | 0-20 RPM ajustáveis e volta/rotação stepless verificáveis da mudança da velocidade | ||
Medida do vácuo | Dois calibres de vácuo compostos digitais | ||
Proteção | O alarme e a proteção automática funcionam para a prostração da água, fluxo anormal, sobre o fluxo atual, sobre a tensão, e parada programada elétrica, etc. | ||
Parâmetros básicos | Quilowatt Power≥12; Área serida: 12 m2; Peso: ~1200 quilogramas | ||
Dispositivos opcionais | Monitor da espessura de película do oscilador de quartzo, refrigerar de água & recicl a máquina | ||
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