Denominação

Máquina de revestimento multifunction da série de TSU

tipo

Um tipo

B

C

tamanho da câmara

Φ800mm×H800mm

Φ1000mm×H1000mm

Φ1200mm×H1200mm

Fonte de alimentação

3000W pulso bipolar generator*2

Multi-Arco target*2 do poder 4000W

alvo eletromagnético *1 do poder do poder *1 da evaporação 1000W

4000W pulso bipolar generator*2

Multi-Arco target*4 do poder 4000W

poder *1 da evaporação 2000W

Alvo eletromagnético *1 do poder

5000W pulso bipolar generator*2  

4000W poder *1 da evaporação do Multi-Arco target*8 3000W

 Alvo eletromagnético *1 do poder

Estrutura de alvo Sputtering

alvo magnético permanente *1+Φ60mmElectromagnetic target*1+ targets*2 retangular +Φ65mmMulti-Arc target*2 da evaporação electrodes*2 +Φ50.8mm refrigerar de água

Multi-Arco retangular eletromagnético magnético permanente target*4 do alvo *1+Φ60mm target*1+ targets*2+Φ65mm da evaporação electrodes*2+Φ50.8mm refrigerar de água

Multi-Arco retangular eletromagnético magnético permanente target*8 do alvo *1+Φ60mm target*1+ targets*2+Φ65mm da evaporação electrodes*2+Φ50.8mm refrigerar de água

Câmara de vácuo

O vertical Pre-abre estruturas, rotação modePublic da rotação da operação do backWorkpiece dos sistemas de ventilação, 0~20rpm, escala composta measurementDigital controlada ajustável da medida do calibre de vácuo de CVTVacuum de atmosférico a 10-5Pa

Método do revestimento

Depósito +Evaporation do plasma da evaporação +multi-arc sputtering do magnétron

Tensão diagonal negativa

0-1000V 12KW20KW

Modalidade do revestimento

Metal películas, película da reação, a película magnética, a película multilayer, a película dieléctrica, a película orgânica, o revestimento do pó, etc.

Padrão do Workpiece

Refrigerar de água, aquecer-se, volta disponível e rotação capazes de provar o monitor da espessura.

Pressão baixa

8×10-5Pa ou 8×10-4Pa

Componentes de sistema do vácuo

pump+ molecular enraíza a bomba + bomba mecânica ou bomba de difusão + bomba das raizes + bomba mecânica

Velocidade de bombeamento

inferior ou igual a 20min do ar a 10-3Pa

uniformidade da membrana

≤±5%

Alvo e poder do alvo

Utilização 30%~60% do alvo

Temperatura de cozimento do Workpiece

Temperatura ambiente controlada ajustável 200 ao ° C (controle de temperatura do PID)

Controle do vácuo

Um tipo é manual, BC tipo é controlo automático

controle de gás

Três jogos do sistema de controlo do gás, ± 0.1sccm da exatidão do controle de fluxo 5L/3L/2L do gás.

proteção

O equipamento está sendo conduzido, sob a consolidação, fluxo, dispositivos de proteção da sobretensão

power≥20KW, area9m2

Dispositivos da opção

A fonte de íon de Salão dos dispositivos da espessura do oscilador de quartzo, e as máquinas da água de circulação bombeiam, PLC, controle do PC, a anti-lavagem de sputtering