Tipo

PECVD-200

PECVD-450

PECVD-650

Dimensão da câmara do depósito

Φ230×H300 milímetro

Φ450×H400 milímetro

Φ650×H600 milímetro

Dimensão da plataforma da carcaça

Φ100×10 milímetro

Φ120×12 milímetro

Φ150×15 milímetro

Taxa da rotação da plataforma da carcaça

0-20 RPM (ajustáveis)

Fonte de alimentação

Fonte de alimentação do RF

Bombas de vácuo

Bomba molecular + bomba mecânica

O vácuo alcançado o mais elevado

6. Pa 6 ×10-5

Tipos da película

Película do dielétrico/semicondutor/metal

Controle de fluxo do gás

3-4 controle de fluxo do gás da estrada (opcional)

Câmara de vácuo

Pre-abra estruturas verticais, sistemas de bombeamento da Sob-posição

Velocidade de bombeamento

Minuto time≤30 de bombeamento, da pressão atmosférica a 10-3Pa

Uniformidade da película

As flutuações da espessura de película são menos de 5%

Medida do vácuo

Calibres de vácuo compostos de Digitas, medida do vácuo que varia da pressão atmosférica a Pa 10-6

Controle do vácuo

Manual disponível/controle do PLC/PLC+HMI (opcional)

Proteção

O alarme e a proteção automática funcionam para a prostração da água, fluxo anormal, sobre o fluxo atual, sobre a tensão, e parada programada elétrica, etc.

Parâmetros básicos

Quilowatt Power≥10; Área serida: 4-20 m2; Peso 100-800 quilogramas

Dispositivos opcionais

Refrigerar de água & recicl a máquina, analisador de gás residual