Tipo

TZB450A

TZB450B

TZB450C

Método do revestimento

Revestimento da evaporação da resistência + caixa de luva

Revestimento sputtering do magnétron + caixa de luva

Evaporação + magnétron da resistência que sputtering + caixa de luva

Tipos da película

Substância simples, películas compostas dos óxidos, dos dieléctricos, do semicondutor, etc.

Películas do metal/metalóide, etc.

As películas da substância simples, películas do semicondutor, películas orgânicas, películas de óxido, películas da reação, películas dieléctricas, películas do Superconductor, Metal películas cerâmicas, películas óticas, etc.

Fonte de alimentação

Fonte de alimentação de Evapourate

Fonte de alimentação de DC/Bipolar pulse/RF

evapourate/fonte de alimentação bipolar do pulso

Elétrodos e alvos

elétrodos

Diversos alvos sputtering do magnétron

elétrodos, alvo sputtering do magnétron

Dimensão da câmara de vácuo

Φ450×H400 milímetro

Estrutura da câmara de vácuo

Pre-abra estruturas verticais, sistemas de bombeamento do Postposition, manuais empurrar-e-puxam a maneira

O vácuo alcançado o mais elevado

6. Pa 6×10-5

Bombas de vácuo

Bomba molecular + bomba mecânica

Velocidade de bombeamento

Bombeando time≤20 minuto (minuto) molecular da bomba/50 (bomba de difusão), da pressão atmosférica a 10-3Pa

Uniformidade da película

As flutuações da espessura de película são menos de 5%

Estrutura dos elétrodos

elétrodos

Sputtering do magnétron

fonte de alimentação do pulso + targets× magnético permanente 1-3

Temperatura de cozimento do workpiece

Ajustável e verificável da temperatura ambiente ao °C 300 (controle de temperatura do PID)

Movimento do workpiece

0-20 RPM ajustáveis e volta/rotação stepless verificáveis da mudança da velocidade

Controle do vácuo

Controle manual

Medida do vácuo

× composto digital Baixo-elevado 2 do calibre de vácuo

Controle do vácuo

Manual/controle do PLC/PLC + do HMI

Proteção

O alarme e a proteção automática funcionam para a prostração da água, fluxo anormal, sobre o fluxo atual, sobre a tensão, e parada programada elétrica, etc.

Parâmetros básicos

Quilowatt Power≥12; Área serida: 9 m2; Peso: ~800 quilogramas

Dispositivos opcionais

Monitor da espessura de película do oscilador de quartzo, de íon de Salão fonte, refrigerar de água & recicl a máquina, limpeza Anti-sputtering, máquina de compressão do ar