O equipamento químico quente do diamante do depósito de vapor químico do filamento da série do HF opera-se com base na técnica do depósito de vapor químico do quente-filamento, e pode-se ser usado para depositar películas grossas do diamante, películas do nitreto de silicone, e películas do dióxido de silicone, etc. São extremamente apropriados para a produção industrial e foram executados nas linhas de produtos de muitas companhias conhecidas. Usando nossos equipamentos, estas companhias têm produzido bolachas policristalinas sheet-like do diamante com grandes dimensões e têm realizado já benefícios econômicos consideráveis destes produtos. Além, nossos equipamentos são igualmente muito apropriados para a investigação científica e a instrução e para o desenvolvimento em grande escala de produtos comerciais novos.

Tipo

Datilografe A

Datilografe B

Datilografe C

Dimensão da câmara sputtering

Φ450×H450mm

Φ650×H770mm

Φ800×H800mm

Dimensão da plataforma da carcaça

Φ150×H44mm

Φ200×H44mm

Φ300×H44mm

Altura da plataforma da carcaça

200? 150mm

200? 150mm

200? 150mm

Taxa da rotação da plataforma da carcaça

0-20 RPM (ajustáveis)

0-20 RPM (ajustáveis)

0-20 RPM (ajustáveis)

Tamanho do elétrodo

Φ24×200mm

Φ24×200mm

Φ24×200mm

Corrente através do elétrodo

> 300 A

> 300 A

> 300 A

Resistência de oxidação dos materiais

Resistência de oxidação atmosférica

Resistência de oxidação atmosférica

Resistência de oxidação atmosférica

Tipos da película

Películas grossas do diamante

Películas grossas do diamante

Películas grossas do diamante

Fonte de alimentação

Hot-wire a fonte de alimentação

Hot-wire a fonte de alimentação

Hot-wire a fonte de alimentação

Estrutura da câmara de vácuo

Pre-abra estruturas verticais, sistemas de bombeamento do Postposition, refrigerar de água da Dobro-camada

O vácuo alcançado o mais elevado

Pa 1.0×10-3

Bombas de vácuo

A bomba de difusão + enraíza as bombas + bomba mecânica + bomba do processo

Velocidade de bombeamento

Minuto time≤30 de bombeamento, da pressão atmosférica a 10-3Pa

Uniformidade da película

As flutuações da espessura de película são menos de 5%

Medida do vácuo

Dois baixos, calibres de um vácuo compostos digitais elevados, calibres de espessura da película

Controle do vácuo

Controle manual ou controlo automático

Controle de fluxo do gás

Controle de fluxo do gás de três estradas e os sistemas de exposição correspondentes

Proteção

O alarme e a proteção automática funcionam para a prostração da água, fluxo anormal, sobre o fluxo atual, sobre a tensão, e parada programada elétrica, etc.

Parâmetros básicos

Power≥15KW; Peso: 500kg; Área serida: 8m2

Dispositivos opcionais

Refrigerar de água Deionized & recicl a máquina, controle do PLC, o controle manual inteiro, controle semiautomático