| Número modelo: TLJ-140 |
Áreas de aplicação: o íon que sputtering, que pode igualmente ser usado para o outro metal que sputtering
Denominação | Máquina sputtering do íon TLJ-140 |
Método do revestimento | Sputtering do íon |
Sistema do vácuo | Bombas de vácuo giratórias diretas 2L/S da aleta |
Tipos da membrana | Película do metal |
Estrutura Sputtering | Alvo plano de Φ63.5mmCircular |
Unidade de processamento de vidro | 140mm×H140mm |
Películas de Formosa | Φ40mm pode provar acima de seis copos, água, limpar capaz de provar anti-sputtering. |
Válvulas ascendentes | Quarto no revestimento superior facilitar o gás. |
Uniformidade da película | ≤±5% |
Controle do vácuo | Controle manual de /Automatic |
Gás do processo | Gás do ar ou do argônio, equipado com a entrada do gás do argônio e dedicado micro ajuste para a inflação. |
Poder | ≥5KW |
China