Tipo

ZHD230 A

ZHD230 B

ZHD230 C

Bombas de vácuo

Bomba de difusão + bomba mecânica

Bomba molecular + bomba mecânica

Bomba de difusão + bomba mecânica

O vácuo alcançado o mais elevado

6. 6 ×10-4Pa

6. Pa 6 ×10-5

6. Pa 6 ×10-4

Fonte de alimentação

2 QUILOWATTS

Estrutura dos elétrodos

Um par de elétrodos da evaporação

Um par de elétrodos da evaporação

Um par de elétrodos da evaporação, terno de A do equipamento depulverização

Tipos da película

Metal películas, películas de óxido, películas dieléctricas, películas do semicondutor, películas orgânicas, etc.

Elétrodos da evaporação

um par de elétrodos do water-cooling

Câmara do revestimento

Dimensão: 230×H300 milímetro; Material: tampa de vidro; Estrutura invertido

Velocidade de bombeamento

Bombeando time≤20 minuto (minuto) molecular da bomba/30 (bomba de difusão), da pressão atmosférica a 10-3Pa

Uniformidade da película

As flutuações da espessura de película são menos de 5%

Medida do vácuo

× composto digital Baixo-elevado 1 do calibre de vácuo, da pressão atmosférica a Pa 10-5

Controle do vácuo

Controle manual

Sustentação da amostra

Φ80100 milímetro, localiza na parte superior da câmara

Proteção

O alarme e a proteção automática funcionam para a prostração da água, fluxo anormal, sobre o fluxo atual, sobre a tensão, e parada programada elétrica, etc.

Parâmetros básicos

Quilowatt Power≥5; Área serida: 5 m2

Ambiente e condições de funcionamento

Dispositivos opcionais

Refrigerar de água & recicl a máquina